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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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laoyisng1122

铁虫 (正式写手)

[求助] 扫描电镜 分子泵与扩散泵的性能该做如何比较?

扫描电镜 求达到相同真空度的分子泵与扩散泵的性能比较
看了论坛中几个帖子所说,分子泵与扩散泵的优缺点比较,学习了不少。不过又有问题挥之不去,比如:在同样达到5*10-6真空度的情况下,分子泵与扩散泵的性能该做如何比较?分子泵的抽速能赶上扩散泵的吗?功耗应该也是分子泵小吧,那么用电量如何呢?
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COXEM

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【答案】应助回帖

种 类                                          油扩散泵                              涡轮分子泵系统   
可获得最高真空度                     10-3~10-4Pa                              优于10-4Pa   
形成污染层速率                        30nm/min(10-3Pa)             0.036~0.09nm/min(2×10-4Pa)
开机预热时间                             30min                                                    无需预热
关机冷却时间                              30min                                                   无需
冷却方式                                   水冷                                                       风冷
能耗                                           高                                                          低一倍以上
真空油污染                                 高                                                          无
真空管路                                    复杂                                                       简单
噪音                                           大(需要隔离机械泵急冷水机)                 小 (无需隔离)
单机价格                                        便宜                                    贵5倍以上
2楼2011-09-21 18:05:31
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COXEM

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北京驰奔仪器有限公司- G.M &


从使用角度来看,涡轮分资本更符合当前时代特点。 可以随时开关机,而扩散泵哪怕做一个样品,开关机一次至少要半天。
扩散泵预热冷却至少要20分钟以上,最好是30分钟,否则会有很多不良后果。
3楼2011-09-21 18:11:28
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