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扫描电镜 分子泵与扩散泵的性能该做如何比较?
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扫描电镜 求达到相同真空度的分子泵与扩散泵的性能比较 看了论坛中几个帖子所说,分子泵与扩散泵的优缺点比较,学习了不少。不过又有问题挥之不去,比如:在同样达到5*10-6真空度的情况下,分子泵与扩散泵的性能该做如何比较?分子泵的抽速能赶上扩散泵的吗?功耗应该也是分子泵小吧,那么用电量如何呢? |
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