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做过CVD制备石墨烯或者碳纳米管的同学请进
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liuxiaoyucrd
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专业: 光学
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]
做过CVD制备石墨烯或者碳纳米管的同学请进
文献中提到CVD制备石墨烯或者碳纳米管时,需要的温度为1000度左右,请问这个1000度指的是哪个区域的温度,是基片区的温度?还是氛围温度?
甲烷是到达基片前就早已经分解了还是到达的瞬间分解的呢?
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1楼
2011-09-19 18:27:10
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cromwellking
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
★
shecf(金币+1): 谢谢参与交流 2011-09-22 18:38:04
liuxiaoyucrd(金币+4): 谢谢,再问一句,甲烷分解所需的热就是来自于基片加热是吧?它是在很临近基片时候才分解的吧? 2011-09-23 09:29:05
是你衬底所处的温度。
甲烷应该是在到达衬底前就会分解,然后活性基元通过扩散到达基元表面进行重组形成六圆环晶格。
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2楼
2011-09-22 16:06:17
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注册: 2010-04-29
性别: GG
专业: 无机非金属基复合材料
【答案】应助回帖
★
shecf(金币+1): 谢谢应助 2011-09-23 21:56:57
liuxiaoyucrd(金币+4): 非常谢谢 2011-09-24 10:05:58
在到达衬底前就会分解。一般CVD都是用水平玻璃式的炉子,烧的是炉子,所以是载体下面玻璃管的温度。温度有的并不需要1000度,目前正在往低温方向合成
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执拗于过去,只是因为看不到未来。
3楼
2011-09-23 19:40:11
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