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求助：傅氏转换红外线光谱分析仪是用来干什么用的？
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【答案】应助回帖
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木虫/panda(金币+1): 度娘那来的:D 还是感谢应助 2011-09-15 08:59:38
木虫/panda(金币+1): 度娘那来的:D 还是感谢应助 2011-09-15 08:59:38
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用于半导体制造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。 目的：·已发展成熟，可Routine应用者，计 有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测。 B.芯片之含氧、含碳量预测。 C.磊晶之厚度量测。· 发展中需进一步Setup者有： A.氮化硅中氢含量预测。 B.复晶硅中含氧量预测。 C.光阻特性分析。FTIR为一极便利之分析仪器，STD的建立为整个量测之重点，由于其中多利用光学原理、芯片状况（i.e.晶背处理状况）对量测结果影响至钜。 目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的，光谱仪主要由光源（硅碳棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪，把样品放在检测器前，由于样品对某些频率的红外光产生吸收，使检测器接受到的干涉光强度发生变化，从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线，借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这一过程可有计算机完成。 用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤： 1)、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图; 2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光； 3)、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。 编辑本段FTIR（受抑全内反射） 全内反射：当光从光密媒质进入光疏媒质且入射角大于临界角时，在两媒质交界处将发生光的全内反射。 如果将疏媒质的厚度控制到非常薄，例如使两块直角棱镜的底面靠得很近，那么，即便在全反射角度的情况下，透射光依然是可以取出的，亦即全反射受到抑制。 人们已经做过大量的实验来研究受抑全反射现象，早在 1897年 J. C. Bose就通过实验证实这一现象的存在。 1902年，霍尔从实验和理论两方面解释说明了这一现象，研究了在不同材料中光的穿透距离和入射角、偏振方向的关系。同时，他还对透射系数进行了理论计算。 受抑全反射现象具有广泛的应用价值。它的发现推动了光谱学的发展，开辟了一门新的学科——表面非线性光学。 最近几年，人们利用受抑全内反射 FTIR技术制作出了多点输入触摸屏。 FTIR效应的发生要求空气薄膜厚度必须在波长范围内。受抑全反射的透射率随空气薄膜厚度的增加而减小，当随着空气薄膜厚度从0增加到一个波长数量级左右时，透射率从 100%几乎下降到 0；在薄膜厚度一定的情况下，增大入射角或选用大折射率的材料，都会使透射率减小。而入射光如果采用可见光，由于可见光波长比较小，在实验中只能观察到呈指数衰减部分的变化。 编辑本段FTIR在多点触摸技术上的应用 触摸技术的突破是从FTIR（Frustrated Total Internal Reflection，受抑全内反射）技术开始的，这份功劳归功于纽约大学的Jeff Han。 在了解了大概的历史之后，我们现在动手来做我们自己的FTIR多点触摸桌（Multi Touch Table）。 首先，我们需要了解一下基本原理： 红外LED（IR LED）发射红外线进入亚克力板（Acrylic），当亚克力面板的厚度大于8mm时，光线会发生在亚克力内不停反射，而不会跑出来，这就叫做全内反射（Total Internal Reflection），但当你的手指（或者其他材质如硅胶等有一定韧性和反射性的材料）碰到亚克力表面时，全内反射（Total Internal Reflection）被破坏，光线被手指反射出来，此时，亚克力下方正好有红外摄像头（IR Camera）捕捉到手指反射的亮点，摄像头捕捉到的亮点会送到计算机进行处理，形成输入，有几个亮点，就形成几个输入点。FTIR 多点触摸（FTIR Multi Touch)的原理就是这样。[1] |
2楼2011-09-15 08:55:00
