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sunnian

银虫 (小有名气)

[求助] 氧等离子体

什么是氧等离子体处理,它与等离子体处理以及超氧等离子体处理有什么区别?

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liu2004m

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【答案】应助回帖

sunnian(金币+2, 博学EPI+1): 2011-09-14 14:17:47
等离子体的产生主要是靠电子去撞击中性气体原子,使中性气体原子解离而产生等离子体。氧等离子体,即用电子撞击氧气,产生等离子体。

而超氧等离子体即是O2-O3混合气体
2楼2011-09-14 11:59:42
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qinkaiqiang

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

sunnian(金币+1): 2011-09-15 09:53:58
等离子处理是用强电压使得惰性气体电离,产生惰性气体等离子体。然后用惰性气体等离子体轰击待处理基体表面,使得基体表面附有惰性气体等离子。当基体从处理腔中拿出后接触空气,基体表面就形成亲水基官能团。
3楼2011-09-14 16:29:00
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