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xmcxbjh

金虫 (小有名气)

[求助] AFM测量结果分析求教...............................

我在衬底上镀了一层多晶硅薄膜,然后测了下AFM,现有以下疑问:
1;测过之后一般看哪几个参数?
2;我看了“颗粒尺度分析”中的平均高度和平均直径(如图),我想问:这个高度是从颗粒顶到衬底还是到哪?这个直径是颗粒哪个位置的直径,颗粒高度一半位置还是哪里?
3;在“粗糙度分析”中,有很多参数,如The Surface Skewness等等,谁有这些参数的中文说明啊,英文的有个别词看不懂,还查不到!
     急待高手作答!
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活到死,学到死!
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xmcxbjh

金虫 (小有名气)

为什么没人知道呢??
活到死,学到死!
2楼2011-09-14 16:04:06
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