[求助] AFM测量结果分析求教...............................

我在衬底上镀了一层多晶硅薄膜，然后测了下AFM，现有以下疑问： 1；测过之后一般看哪几个参数？ 2；我看了“颗粒尺度分析”中的平均高度和平均直径(如图)，我想问：这个高度是从颗粒顶到衬底还是到哪？这个直径是颗粒哪个位置的直径，颗粒高度一半位置还是哪里？ 3；在“粗糙度分析”中，有很多参数，如The Surface Skewness等等，谁有这些参数的中文说明啊，英文的有个别词看不懂，还查不到！      急待高手作答！     跪谢!

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