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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于BIO-MEMS方面材料的选择
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calise007

至尊木虫 (正式写手)

[交流] 关于BIO-MEMS方面材料的选择

不知各位大侠有做过光刻电极没有，然后用作生物传感器研究。不知各位做电极的材料是如何选择和搭配的。比如说：Cr\Au组合，Ti\Au或是Ni\Au组合,在硅、陶瓷或玻璃上面溅射上导电线。还有那位大侠做过类似得研究，有没有好的经验咱们分享一下。谢谢。鄙人邮箱：calise007@163.com
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1楼 2011-09-10 10:59:54
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lzqytu

至尊木虫 (职业作家)
calise007(金币+1):谢谢参与
金光闪闪2010(金币-1): 2011-09-10 18:05:48
金光闪闪2010: 无效回帖 2011-09-10 18:06:03
顶一个
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2楼2011-09-10 13:18:37
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leimiao_hit

木虫之王 (文学泰斗)
★
calise007(金币+1):谢谢参与
在硅、陶瓷或玻璃上面溅射上导电线
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4楼2011-09-10 13:43:13
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calise007

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by leimiao_hit at 2011-09-10 13:43:13:
在硅、陶瓷或玻璃上面溅射上导电线

请问什么意思？
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5楼2011-09-10 14:46:15
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lxzhq

铁杆木虫 (著名写手)
★
calise007(金币+1):谢谢参与
在硅、陶瓷或玻璃上面溅射上导电线
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2011-09-11 13:11:03
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underdog-82

铁虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
lchpy(金币+1): thanks for your informations 2011-10-03 18:31:58
先溅射粘附层（钛或者铬），再蒸镀主要材料
赞一下(2人) 回复此楼
8楼2011-10-02 02:09:23
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cqxiaohu

铁虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
lchpy(金币+1): thanks for your informations 2011-10-03 18:32:03
一般用Ti/Au，Cr/Au的比较多吧，如果要电极比较厚，可以再做电镀等处理
赞一下(2人) 回复此楼
9楼2011-10-03 17:43:42
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四有新人

铜虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
支持学术交流，顶一个
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10楼2011-10-03 19:22:10
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mlanqiang3楼
2011-09-10 13:33   回复  
calise007(金币+1):谢谢参与
金光闪闪2010(金币-1): 2011-09-10 18:05:54
金光闪闪2010: 无效回帖 2011-09-10 18:06:16
顶一下
lxzhq6楼
2011-09-10 17:05   回复  
calise007(金币+1):谢谢参与
金光闪闪2010(金币-1): 无效回帖 2011-09-10 18:06:30
金光闪闪2010(金币-2): 纯表扣2BB 2011-09-10 18:06:42
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