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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 求玻璃表面薄膜TEM样品制备方法
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hitmanlee

木虫 (小有名气)

[求助] 求玻璃表面薄膜TEM样品制备方法

制备TEM样品：
材料 SnO2:F薄膜
用化学气相沉积法沉积在5mm厚玻璃表面
请问如何脱膜制样？
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1楼 2011-09-09 20:07:33
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zhangquan8385

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【答案】应助回帖

离子减薄，以前有帖子讨论过
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2楼2011-09-10 09:27:28
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hitmanlee

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangquan8385 at 2011-09-10 09:27:28:
离子减薄，以前有帖子讨论过

谢谢回帖哈
我知道那种方法，比较复杂
对粘，线切割，抛光，离子减薄
这个工艺目前对我们比较难实现
我们就想吧薄膜腐蚀下来先看看tem
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3楼2011-09-11 09:31:56
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