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请教制备TiO2 纳米膜的方法。
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| 查看了文献，溶胶凝胶、TiCl4水解法制备的都是纳米颗粒，能不能制备均匀透明的膜层啊？请大家给一点参考文献。谢谢。 |
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zhangquan8385(金币-5): 广告 2011-09-14 08:59:17
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用磁控溅射做就是了，结晶好还很结实。我实验室可以做镀膜，包括磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD，可以同步进行膜层厚度测试。 电话：15108299816赵工 邮箱：zyy44138172@126.com |
11楼2011-09-13 23:16:33
zhangquan8385
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zhangquan8385
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4楼2011-09-09 09:33:18