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liuaqianqia

新虫 (小有名气)

[求助] NF3的分析 选用的是什么型号的色谱柱?谢谢!

NF3的分析
我想问一下有没有朋友做过NF3的检测,选用的是什么型号的色谱柱,我所需检测的是高纯的NF3,CF4在10PPM,CO,CO2,SF6,N2O,Ar,N2,O2都在1PPM以下,请做过的朋友提供一些参考资料,谢谢
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