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作者的意思似乎是少量氧（5%）使得涂层晶体的XRD峰强变大，由此判断晶体结晶性提高。好像是有把晶体XRD衍射峰强与结晶完整性联系起来的。前提是排除其他原因造成的衍射峰增强。
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