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feixiosng51

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[求助] 做AR-XPS测试时候，需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程吗？

AR-XPS中氧的平均自由程
请教高手！
在做AR-XPS测试的时候，需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程，有人知道是多少吗？

background：我是想用AR-XPS来测试Si表面的native oxide厚度。需要用到一个公式，公式中有个未知量是“平均自由程”

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1楼 2011-08-08 17:23:00

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