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新虫 (小有名气)

[求助] 求XRD 多层模型膜厚拟合软件

本人需要知道多层膜模型中，每一层的膜厚，和其界面粗糙度的信息，XRD作为有效的手段，但是缺乏相关的拟合软件。

1楼 2011-07-22 20:53:00

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银虫 (小有名气)

在薄膜晶粒和厚度测量上，xrd数据比较不准，我当时算晶粒大小实际5nm左右，xrd算得得10nm，还是电镜效果好，表面粗糙度，我看文献上很多会用原子力显微镜（AFM）。不过要是测相对数据还是可以的。

好好努力才是王道啊～

2楼2011-07-23 08:49:16

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至尊木虫 (文坛精英)

我不知道楼主怎么个测法，楼上的能看明白，如果是粒度的话电镜还可以粒度分析仪等测试！，希望楼主方法有人解决

有志者，事竟成，破釜沉舟，百二秦关终属楚；苦心人，天不负，卧薪尝胆，三千越甲可吞吴。

3楼2011-07-23 15:21:23

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