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ssyliu4008

新虫 (小有名气)

[求助] 求XRD 多层模型膜厚拟合软件

本人需要知道多层膜模型中,每一层的膜厚,和其界面粗糙度的信息,XRD作为有效的手段,但是缺乏相关的拟合软件。

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wtony

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

在薄膜晶粒和厚度测量上,xrd数据比较不准,我当时算晶粒大小实际5nm左右,xrd算得得10nm,还是电镜效果好,表面粗糙度,我看文献上很多会用原子力显微镜(AFM)。不过要是测相对数据还是可以的。
好好努力才是王道啊~
2楼2011-07-23 08:49:16
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hblgczy

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

我不知道楼主怎么个测法,楼上的能看明白,如果是粒度的话电镜还可以粒度分析仪等测试!,希望楼主方法有人解决
有志者,事竟成,破釜沉舟,百二秦关终属楚;苦心人,天不负,卧薪尝胆,三千越甲可吞吴。
3楼2011-07-23 15:21:23
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