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蓝宝石衬底加工检测手段 已有3人参与
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| 对于ＬＥＤ行业来讲，蓝宝石衬底的生产及加工的质量对后续外延片的生长有着很大的影响，那么蓝宝石衬底的平整度、晶格完整性、表面损伤层深度、残余应力等质量就显得非常重要，大家都说说这些性能该如何检测呢？ |
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