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水痕585

铜虫 (小有名气)

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[交流] 蓝宝石衬底加工检测手段已有3人参与

对于ＬＥＤ行业来讲，蓝宝石衬底的生产及加工的质量对后续外延片的生长有着很大的影响，那么蓝宝石衬底的平整度、晶格完整性、表面损伤层深度、残余应力等质量就显得非常重要，大家都说说这些性能该如何检测呢？

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总有些事会让你无语

1楼 2011-07-11 10:12:34

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

cmyy1988

金虫 (小有名气)

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专业: 半导体材料

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-12 09:02:49

引用回帖:

Originally posted by 水痕585 at 2011-07-11 10:12:34:
对于ＬＥＤ行业来讲，蓝宝石衬底的生产及加工的质量对后续外延片的生长有着很大的影响，那么蓝宝石衬底的平整度、晶格完整性、表面损伤层深度、残余应力等质量就显得非常重要，大家都说说这些性能该如何检测呢？

刚开始接触这个，还不懂，希望懂的进来！