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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 有关纳米压痕技术
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poohpan

银虫 (初入文坛)

[求助] 有关纳米压痕技术

纳米压痕测试中 为什么只压入到膜厚的10% 查找相关资料 都未果
哪位大侠明白 请指点下
急求原因···
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1楼 2011-07-04 15:38:02
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poohpan

银虫 (初入文坛)
在线等回复。。。
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2楼2011-07-04 15:39:03
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helongyu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

再深了就会收到基体的影响。
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踏实、朴实、求实
3楼2011-07-05 02:09:47
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poohpan

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by helongyu at 2011-07-05 02:09:47:
再深了就会收到基体的影响。

您能帮我解释下 基底是如何影响的吗？ 我想把其中的原理搞搞清楚 辛苦了！
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4楼2011-07-06 08:18:49
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helongyu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

poohpan(金币+1): 2011-07-14 19:50:05
就是薄膜很薄，只有在一定深度范围才能体现出自身的机械性能，太深或太浅都不行。举例说，软膜硬基体的话，如果压痕过深，受到基体影响较大，则所测软膜的硬度会比真实值大；反之亦然。另一方面，如果压痕过浅，由于压头直径一般都在几十纳米左右，太浅了没什么意义，同时表面粗糙度也是个影响因素。
不知这么说可否。
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踏实、朴实、求实
5楼2011-07-06 21:03:14
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rabbitfree

铁杆木虫 (正式写手)
Pharr, G. and W. Oliver (1992). "Measurement of thin film mechanical properties using nanoindentation." Mrs Bull 17(7): 28-33.
好像提到过吧，记不清了
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6楼2013-01-17 22:01:16
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dgz5530739

捐助贵宾 (著名写手)
引用回帖:
2473687楼: Originally posted by rabbitfree at 2013-01-17 22:01:16
Pharr, G. and W. Oliver (1992). "Measurement of thin film mechanical properties using nanoindentation." Mrs Bull 17(7): 28-33.
好像提到过吧，记不清了

求这篇文章 ，怎么都找不到其下载链接，十分感谢
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呜呼.....
7楼2013-03-16 15:56:24
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