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issp_summer金虫 (小有名气)
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三甲基铝(TMA)温度和载气流速
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| 用三甲基铝(TMA)做CVD的时候，一般三甲基铝(TMA)保持多少温度？载气的流速又是多少 ？ 谢 谢 |
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2楼2011-06-15 11:24:12
issp_summer
金虫 (小有名气)
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- 帖子: 208
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- 专业: 半导体光电子器件
3楼2011-06-15 14:45:30
20