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yaochuang

铁虫 (小有名气)

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[求助] 有机薄膜太阳能电池 ITO电极怎么刻蚀好？

大家做有机薄膜太阳能电池时用的ITO电极是怎么刻蚀到2-3mm的呢？
我采用的方法是：用透明胶带粘在ITO玻璃上，然后用刀片将胶带切成2-3mm后再用盐酸和锌粉进行刻蚀。但是这样有很大的缺点，一是用刀片切时不好控制往往得到的一条胶带不一样宽(导致最终刻蚀的ITO不一样宽)，二是在胶带边缘会出现粘贴不好（导致最终刻蚀的ITO边缘出现锯齿状）。
这些都使ITO电极的面积不确定，对实验产生很大的不便~ 大家都怎么做的呢？求教~ 谢谢了~

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1楼2011-06-09 10:51:34

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majieyuan

金虫 (小有名气)

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专业: 半导体材料

你是在实验室做吧，似乎有一点点黄光的概念了。记得你的胶带边缘之所以会有锯齿状，是因为ITO 蚀刻液会渗入胶带。那通常行业做法是用Photolithagraphy的方式，即用光刻胶做mask，然后曝光，显影，hard baking，在做etching。那您要是没条件，也可以用油性的marker笔在ITO上画出你要的图形和CD，这个是我们常用的最经济的方法了。不知能不能帮到你。