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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 有机薄膜太阳能电池 ITO电极怎么刻蚀好？
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yaochuang

铁虫 (小有名气)

[求助] 有机薄膜太阳能电池 ITO电极怎么刻蚀好？

大家做有机薄膜太阳能电池时用的ITO电极是怎么刻蚀到2-3mm的呢？
    我采用的方法是：用透明胶带粘在ITO玻璃上，然后用刀片将胶带切成2-3mm后再用盐酸和锌粉进行刻蚀。  但是这样有很大的缺点，一是用刀片切时不好控制往往得到的一条胶带不一样宽(导致最终刻蚀的ITO不一样宽)，二是在胶带边缘会出现粘贴不好（导致最终刻蚀的ITO边缘出现锯齿状）。
    这些都使ITO电极的面积不确定，对实验产生很大的不便~  大家都怎么做的呢？求教~  谢谢了~
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1楼 2011-06-09 10:51:34
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majieyuan

金虫 (小有名气)
你是在实验室做吧，似乎有一点点黄光的概念了。记得你的胶带边缘之所以会有锯齿状，是因为ITO 蚀刻液会渗入胶带。那通常行业做法是用Photolithagraphy的方式，即用光刻胶做mask，然后曝光，显影，hard baking，在做etching。那您要是没条件，也可以用油性的marker笔在ITO上画出你要的图形和CD，这个是我们常用的最经济的方法了。不知能不能帮到你。
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16楼2012-05-19 11:59:34
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wangchangwei

铁杆木虫 (职业作家)

超级木虫

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢交流~ 2011-06-12 08:41:29
yaochuang(金币+1): 2011-06-13 22:51:35
你可以先把大块ito进行刻蚀，然后在用金刚石刀片切，这样的误差就会小许多了，我们课题组是这么做的
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2楼2011-06-09 11:22:03
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yaochuang

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by wangchangwei at 2011-06-09 11:22:03:
你可以先把大块ito进行刻蚀，然后在用金刚石刀片切，这样的误差就会小许多了，我们课题组是这么做的

兄弟，怎么刻蚀呢？麻烦你说的详细一点儿好吗~   谢谢了~     
我刻蚀的误差实在是太大了~
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3楼2011-06-09 14:11:03
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ecind

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢交流~ 2011-06-12 08:41:40
yaochuang(金币+1): 2011-06-13 22:51:47
其实做有机太阳能电池的ITO玻璃用盐酸蚀刻就可以，测试的光都是有个光强的，面积的影响应该不是很大
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4楼2011-06-11 10:44:37
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