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170楼2013-04-28 15:45:11
7楼2011-06-20 20:34:56
15楼2011-07-06 17:03:44
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17楼2011-07-08 17:12:28
31楼2011-07-22 06:25:10
37楼2011-08-19 14:18:16
★★★ 三星级,支持鼓励
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多晶硅的生产工艺: 改良西门子法,三氯氢硅在纯H2的还原条件下,在1050℃的硅芯发热体表面上沉积、生长多晶硅。该工艺目前是国内外成熟、稳定、安全、可靠、产品质量稳定的多晶硅生产工艺。 高纯氢气和精馏提纯的高纯三氯氢硅按适宜的摩尔配比进入还原炉,在硅芯发热体表面上沉积,生长多晶硅,得到产品。 还原炉尾气经干法回收得到三氯氢硅和四氯化硅混合液、氯化氢气体以及氢气。分离的氯化氢经降膜吸收器吸收成为副产品盐酸。降膜吸收后的尾气经喷淋水洗塔水洗后达标排空。氢气返回还原炉生产多晶硅。 西门子工艺每生产1t多晶硅产品将产生近14t的副产物SiCl4,即年产1000t多晶硅,就有14000t副产SiCl4,一般通过四氯化硅氢化、四氯化硅综合利用(生产白炭黑),以达到四氯化硅的循环使用。 三氯氢硅和四氯化硅混合液送精馏分离,经连续精馏后得到的三氯氢硅送还原炉生产多晶硅,四氯化硅送氢化。三氯氢硅粗馏、干法精馏和氢化粗馏得到的四氯化硅经连续提纯后,送四氯化硅氢化系统。在温度400~500℃、压力1.2~l.5MPaG的条件下,四氯化硅转化成三氯氢硅,得到氢化产品。氢化产品经连续粗馏后,得到三氯氢硅、四氯化硅和低沸物。三氯氢硅送三氯氢硅精馏,四氯化硅送提纯系统,低沸物加以回收和综合利用。 还原过程产生大量的热能,用导热油循环冷却将热量用于工艺生产和生活中,使能量得到循环利用。 改良西门子法多晶硅生产工艺,其特点为闭路循环,包括四氯化硅氢化、大型还原炉、还原尾气干法回收等 |
38楼2011-08-25 15:03:58
40楼2011-08-25 17:05:15
44楼2011-09-02 11:08:15
简单回复
泊轩涯2楼
2011-06-07 10:13
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小王考研3楼
2011-06-10 01:07
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小王考研4楼
2011-06-10 01:11
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2011-06-16 22:53
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一般 

ellemiu6楼
2011-06-20 15:21
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莫默不羁8楼
2011-06-21 01:05
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lad7179楼
2011-06-24 13:42
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annie609010楼
2011-06-24 15:56
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jiangshuxun11楼
2011-06-25 02:25
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sdxiaolu12楼
2011-06-30 13:32
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99tjsh13楼
2011-07-05 20:16
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ruochen011014楼
2011-07-05 23:57
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ldl45430953116楼
2011-07-08 13:46
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xiekf198518楼
2011-07-08 20:47
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zlnd19楼
2011-07-11 10:10
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duwen353520楼
2011-07-11 17:03
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lttiger21楼
2011-07-12 00:31
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wbt11922楼
2011-07-12 23:29
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mumachong23楼
2011-07-13 12:56
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yxl4324楼
2011-07-13 13:05
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黑色幽默061125楼
2011-07-13 21:24
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sjjm26楼
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weiqj28楼
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tangjy30楼
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langrenxin32楼
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liry100433楼
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hoppy34楼
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vincent16335楼
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qiuyuan-w36楼
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