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mymuchong512

铜虫 (初入文坛)

[求助] 用铜靶来离子溅射,如何控制大小

利用铜靶来离子溅射,不知道铜的溅射常数是多少(在真空条件下的),想得到3nm左右的小粒子,请高手指教。
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gl_zju

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

mymuchong512(金币+5): 2011-06-14 10:23:51
磁控溅射出的薄膜经过退火就可以得到颗粒了。退火得到的颗粒尺寸和你的镀膜厚度(溅射功率、溅射时间)有关,你可以多尝试一下。不过,3nm算是很小的了,溅射时间应该比较短的吧~
纳米材料(一维硅纳米材料)交流学习
2楼2011-06-03 11:05:07
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