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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

[求助] SEM 问题

增大加速电压,volume of interaction 增大,图像分辨率会下降吗?

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我思故我在
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liu2004m

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【答案】应助回帖

这取决于你材料的导电性
如果导电性好,电压加大,分辨率会好点
但是导电性不好的话
最好还是用低电压
2楼2011-06-01 19:29:29
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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

引用回帖:
Originally posted by liu2004m at 2011-06-01 12:29:29:
这取决于你材料的导电性
如果导电性好,电压加大,分辨率会好点
但是导电性不好的话
最好还是用低电压

您说的应该是导电性好减少表面电荷聚集。从spot size角度,V升高,size减少,分辨率提高;但是作用深度增加,这应该是负效应吧,作用越深,分辨率越差,就比如EDS中x-ray左右最深,mapping分辨率比二次电子差。
我思故我在
3楼2011-06-02 00:16:29
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liu2004m

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lianglei(金币+2, 博学EPI+1): 谢谢! 2011-06-02 15:46:18
引用回帖:
Originally posted by lianglei at 2011-06-02 00:16:29:
您说的应该是导电性好减少表面电荷聚集。从spot size角度,V升高,size减少,分辨率提高;但是作用深度增加,这应该是负效应吧,作用越深,分辨率越差,就比如EDS中x-ray左右最深,mapping分辨率比二次电子差。

V就像照相机的景深一样
V增大,景深加长,照的范围加大,但是分辨率减低
所以具体的电压和V值还是要根据自己的材料来定
4楼2011-06-02 12:11:30
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


这是扫描电镜观察不同样品分辨率限度的一对矛盾。根据你观测的重点,只能折中。
5楼2011-06-26 01:09:34
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