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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

[求助] SEM 问题

增大加速电压，volume of interaction 增大，图像分辨率会下降吗？
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我思故我在
1楼 2011-06-01 18:52:14
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

这取决于你材料的导电性
如果导电性好，电压加大，分辨率会好点
但是导电性不好的话
最好还是用低电压
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2楼2011-06-01 19:29:29
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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫
引用回帖:
Originally posted by liu2004m at 2011-06-01 12:29:29:
这取决于你材料的导电性
如果导电性好，电压加大，分辨率会好点
但是导电性不好的话
最好还是用低电压

您说的应该是导电性好减少表面电荷聚集。从spot size角度，V升高，size减少，分辨率提高；但是作用深度增加，这应该是负效应吧，作用越深，分辨率越差，就比如EDS中x-ray左右最深，mapping分辨率比二次电子差。
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我思故我在
3楼2011-06-02 00:16:29
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

lianglei(金币+2, 博学EPI+1): 谢谢！ 2011-06-02 15:46:18
引用回帖:
Originally posted by lianglei at 2011-06-02 00:16:29:
您说的应该是导电性好减少表面电荷聚集。从spot size角度，V升高，size减少，分辨率提高；但是作用深度增加，这应该是负效应吧，作用越深，分辨率越差，就比如EDS中x-ray左右最深，mapping分辨率比二次电子差。

V就像照相机的景深一样
V增大，景深加长，照的范围加大，但是分辨率减低
所以具体的电压和V值还是要根据自己的材料来定
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4楼2011-06-02 12:11:30
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


这是扫描电镜观察不同样品分辨率限度的一对矛盾。根据你观测的重点，只能折中。
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5楼2011-06-26 01:09:34
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