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xihonghao

银虫 (正式写手)

[交流] 关于在Si基片上做膜的问题

本人想在单面抛光的Si基片上做LaNiO3导电薄膜(溶剂为乙酸:水=5:1),发现不能成膜,希望大家指教,谢谢!
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龙人

木虫 (小有名气)

0.5

我也在作薄膜,Sol-gel方法,旋涂后Si基底上面出现白色物质,或出现破裂像是气泡。不知怎么回事? 做得ZnO,试了很多次,有一次成功,膜的质量也很好,后来再也重复不出来,什么条件也没变,郁闷,可以交流一下。QQ:345462609
2楼2006-10-01 00:48:06
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westlife198207

至尊木虫 (正式写手)

0.5

旋涂后Si基底上面出现白色物质,或出现破裂像是气泡?是不是膜太厚了?
3楼2006-10-05 14:29:01
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