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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » SEM 的 放大倍数问题
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水中绿洲

银虫 (小有名气)

[求助] SEM 的 放大倍数问题

小弟 做了 一层 很薄的 ITO 薄膜 25nm左右有吧  想用电镜拍照片  请问大家 放大倍数 设置在多少啊 以前 做过 电镜 30000倍 拍不出来  请大家指教  还有就是 文献里 那些 标度 比如 100nm 是 依据什么 标注的  谢谢大家
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1楼 2011-05-19 08:47:26
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

【答案】应助回帖

这个事情很难做，除了必须用场发射外，最好能够喷金。而且要多做几个样品，估计能蒙到一个。25nm做测试的老师都被你烦死了。
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3楼2011-05-24 12:59:48
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jenway

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

水中绿洲(金币+30): 10 2011-05-31 20:56:39
要想用SEM看清25nm的ITO薄膜，放大倍数至少100000倍，最好接近200000倍，这就需要性能比较好的场发射扫描电镜，而且最好是看新鲜的截面。仪器给出的SEM照片中是会有标尺和放大倍数等信息的，制作图片时，按比例在剪裁的图片上重新标出即可。
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2楼2011-05-23 22:56:38
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lnhit

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

用不同的电镜拍的照片的标尺是有出入的，25nm大概要求15万倍以上的放大倍数。文献中照片的标尺都是事后自己裁减标注的，呵呵...
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4楼2011-05-30 12:54:06
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