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shuanglei

铜虫 (小有名气)

[求助] 紧急求助

紧急求助,做过阻挡层或正在做这方面的请过来看下,请问阻挡层热处理后,表面Cu层的颜色会变成什么样,我之前用的衬底是SiO2,热处理后是铜本身的金黄色,而之后衬底是Si,热处理后全变为灰白色,这是正常情况吗,亟待解决,谢谢
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硬着头皮钻下去?!
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踏浪

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

shuanglei(金币+5): 2011-05-25 22:10:02
扫一下XRD,看看是不是铜膜发生扩散相变。
做自己就好!!
2楼2011-05-23 13:31:53
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