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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 化学气相沉积生长ZnO纳米线
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zhoususheng

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-05-15 11:41:57
ZGmse(金币+1): 谢谢啦！ 2011-05-17 14:31:34
ZnO的熔点是1975 °C，C的温度是3727 ℃，同学你的温度太低了，可以调到1000摄氏度以上。你可以看看VLS机理，这个是生长纳米线的机理，希望你能成功。
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研究是一个成长的过程
11楼2011-05-15 11:23:40
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kbt828

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

ZGmse(金币+2): 多谢！！O(∩_∩)O~ 2011-05-17 14:31:50
我是做水热的，不过同实验室的同学有用CVD法长的，所以略了解些。
ZnO+C的话温度好像得>800度，Zn+C的话温度得>600度。
衬底最好先长层buffer（不长的话也可以长线，就是对参数要求更苛刻些），buffer可以用磁控或PLD长。
另外对反应时间，气体流量（摩尔比），还有衬底距源的距离等都有要求
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博观而约取，厚积而薄发。
12楼2011-05-17 13:42:25
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堂堂csu

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by jluxiaoxi at 2011-05-13 16:25:08:
我个人觉得大牛做的东西就是早期独一无二的原始创新，但不一定是成熟的技术。现在长ZnO肯定要比杨长的好，不然能发文章吗？查查别的吧。
建议你做个种子层，然后随便弄个Zn源在水溶液中80度左右，肯定能长出来。 ...

做了种子层后，基底还需要别的处理吗？比如喷金什么的？谢谢！
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13楼2011-06-09 19:34:51
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yipinchun

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

ZGmse(金币+2): 谢谢！不过感觉我们的设备无法实现，呵呵。 2011-06-11 18:27:00
引用回帖:
Originally posted by ZGmse at 2011-05-11 11:00:37:
都说CVD法生长ZnO纳米线很容易，但是我用ZnO粉和C粉做原料，用Si片（表面镀金膜）做衬底，却长不出来ZnO纳米线呢？我用杨培东那篇引用4000多的文章的tube-in-tube的方法，结果发现Si片上几乎没有什么沉积啊。用抽 ...

你可以参照我的方法
http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/nn800527m

High-Quality ZnO Nanowire Arrays Directly Fabricated from Photoresists
-------------------------------------------------------------------------------------------------

光刻胶可以用非晶碳代替

http://iopscience.iop.org/0957-4484/21/47/475703
Vertically aligned ZnO/amorphous-Si core–shell heterostructured nanowire arrays

可以在硅片上实现竖直生长，无须载气，真空高温就可以了。

唯一的要求就是高温炉，机械泵能到到的真空-1torr左右。
-------------------------------------------------------------------------------------------------
碳热法很多因素要考虑，不同的炉子热电偶放置可能不一样，所以你需要调整你的温度，我觉得是需要升温。
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信春哥，得永生
14楼2011-06-10 03:56:29
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coraldevil

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by yipinchun at 2011-06-10 03:56:29:
你可以参照我的方法
http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/nn800527m

High-Quality ZnO Nanowire Arrays Directly Fabricated from Photoresists
------------------------------------------ ...

我看见你的第二篇文章中，在ZnO纳米线表面长非晶硅的时候，用的是在氢气中稀释到2%的硅烷气体，这个气体感觉很危险啊，硅烷遇空气燃烧，氢气遇明火即燃烧，如果是自己买那种管式炉来做实验，感觉很危险啊，不知道你们是怎么做这个气路的，特别是尾气的处理。
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15楼2011-06-10 09:54:21
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yipinchun

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

ZGmse(金币+5): 2011-06-13 20:20:19
引用回帖:
Originally posted by coraldevil at 2011-06-10 09:54:21:
我看见你的第二篇文章中，在ZnO纳米线表面长非晶硅的时候，用的是在氢气中稀释到2%的硅烷气体，这个气体感觉很危险啊，硅烷遇空气燃烧，氢气遇明火即燃烧，如果是自己买那种管式炉来做实验，感觉很危险啊，不知 ...

这个实验对气路的密封性要求比较严格，我们的气路是全金属管，大部分回路都是在负压的环境里，而且用的是小管径的炉子。
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信春哥，得永生
16楼2011-06-10 12:47:25
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yipinchun

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by coraldevil at 2011-06-10 09:54:21:
我看见你的第二篇文章中，在ZnO纳米线表面长非晶硅的时候，用的是在氢气中稀释到2%的硅烷气体，这个气体感觉很危险啊，硅烷遇空气燃烧，氢气遇明火即燃烧，如果是自己买那种管式炉来做实验，感觉很危险啊，不知 ...

学校有专门的负压抽气系统，我们是直接排入，因为反应的时间也不长，量也比较小，稀释了问题也不大。
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信春哥，得永生
17楼2011-06-10 12:50:42
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coraldevil

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by yipinchun at 2011-06-10 12:50:42:
学校有专门的负压抽气系统，我们是直接排入，因为反应的时间也不长，量也比较小，稀释了问题也不大。

喔。。。非常感谢啊！
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18楼2011-06-10 13:34:32
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dugu

木虫 (小有名气)
有兴趣可以看下这篇文章
One step synthesis of vertically aligned ZnO nanowire arrays with tunable length

气相法合成ZnO不值得花很长时间，呵呵~
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书生老去机会方来
19楼2011-08-19 14:21:02
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mumuxue

木虫 (小有名气)
楼主，你在Si上镀上金膜，我强烈的想知道，你那个是单晶硅片吗，还有金靶材是实验室本来就有的还是你自己联系买的？我们老板现在要我自己去买，厂家看的我眼花缭乱，希望你知道的话指点我一下，不甚感激。
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20楼2011-09-01 09:00:46
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