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ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] 化学气相沉积生长ZnO纳米线

都说CVD法生长ZnO纳米线很容易,但是我用ZnO粉和C粉做原料,用Si片(表面镀金膜)做衬底,却长不出来ZnO纳米线呢?我用杨培东那篇引用4000多的文章的tube-in-tube的方法,结果发现Si片上几乎没有什么沉积啊。用抽真空的方法长,效果也不好,

所以,有没有虫友有实践过的好方法,可以指教以下吗?多谢,多谢!
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yipinchun

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

ZGmse(金币+2): 谢谢!不过感觉我们的设备无法实现,呵呵。 2011-06-11 18:27:00
引用回帖:
Originally posted by ZGmse at 2011-05-11 11:00:37:
都说CVD法生长ZnO纳米线很容易,但是我用ZnO粉和C粉做原料,用Si片(表面镀金膜)做衬底,却长不出来ZnO纳米线呢?我用杨培东那篇引用4000多的文章的tube-in-tube的方法,结果发现Si片上几乎没有什么沉积啊。用抽 ...

你可以参照我的方法
http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/nn800527m

High-Quality ZnO Nanowire Arrays Directly Fabricated from Photoresists
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光刻胶可以用非晶碳代替

http://iopscience.iop.org/0957-4484/21/47/475703
Vertically aligned ZnO/amorphous-Si core–shell heterostructured nanowire arrays

可以在硅片上实现竖直生长,无须载气,真空高温就可以了。

唯一的要求就是高温炉,机械泵能到到的真空-1torr左右。
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碳热法很多因素要考虑,不同的炉子热电偶放置可能不一样,所以你需要调整你的温度,我觉得是需要升温。
信春哥,得永生
14楼2011-06-10 03:56:29
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ally5829

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


xjajx(金币+1): 鼓励有价值回复 2011-05-11 15:57:29
ZGmse(金币+2): 多谢回复!敢问你曾经长过ZnO纳米线吗?用的什么方法呢? 2011-05-11 19:00:31
温度,压强,气流量,前躯体与Si距离又会影响最终结果,根据我的一点愚昧的实验经验,前躯体与Si距离影响还是比较大的
自信源于努力
2楼2011-05-11 12:01:34
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ZGmse

木虫 (小有名气)

晕啊!竟然ZnO纳米线都长不好!求助啊!到底是怎么回事呢?
3楼2011-05-11 19:01:41
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ZGmse

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by ally5829 at 2011-05-11 12:01:34:
温度,压强,气流量,前躯体与Si距离又会影响最终结果,根据我的一点愚昧的实验经验,前躯体与Si距离影响还是比较大的

要么长出来的纳米线特别丑,一点都不直,是什么原因呢?
4楼2011-05-11 19:03:32
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