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auguest973

木虫 (小有名气)

[求助] 真空系统设计

请问 我现在想设计一个真空度能能达到10-2Pa的真空系统,可不可以采用两个极限真空度为10-2Pa的真空泵串联得到,因为看到有文献报道真空泵串联可提高极限真空度。谢谢了各位  急需上述资料

如果这样可以实现就不需要购买比较贵的扩散泵或分子泵了!
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cylhf

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这样做好像是不行的吧,你要达到一个10-2Pa的真空系统,真空泵的极限真空度要比真空室需要的真空度再高一个或半个数量级才行,就是说要实现真空室10-2Pa的真空环境,泵的可抽极限真空能力至少为1-0.2Pa才行。
2楼2012-07-01 22:20:28
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