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benxiaohaimo主管区长
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[求助]
EDS测量深度
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| 有没有谁知道用场发射扫描电镜配合使用的EDS测量深度是多少，可以测量多少深度及以上元素？ |
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【答案】应助回帖
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shecf(金币+1): 谢谢解答！ 2011-05-08 16:21:49
benxiaohaimo(金币+15): 谢谢你，我之前在另外一个网站看到过这个了，不过还是给你金币吧 2011-05-11 11:21:21
zhaohaixing: 回答很仔细，欢迎常来这个版块交流~ 2011-05-12 18:15:48
shecf(金币+1): 谢谢解答！ 2011-05-08 16:21:49
benxiaohaimo(金币+15): 谢谢你，我之前在另外一个网站看到过这个了，不过还是给你金币吧 2011-05-11 11:21:21
zhaohaixing: 回答很仔细，欢迎常来这个版块交流~ 2011-05-12 18:15:48
EDS实际上是利用电子束激发样品的特征X射线来进行元素分析，一般激发深度为0.5微米至5微米深度。可以进行元素的定性和定量分析，有专门用于元素分析的电子探针（EPMA），也可以作为SEM和TEM的附件，在观察样品形貌的同时进行元素分析。EDS做高精度定量不太合适。 |
2楼2011-05-08 16:08:00
