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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 有奖交流：场发射扫描电镜和环扫的区别？
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comma

专家顾问 (知名作家)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
imrsfb(金币+2, MM-EPI+1): 谢谢专家的详细解答！ 2011-05-03 08:16:51
mcvivi(金币+8): 专家解说，很好！ 2011-05-03 10:31:12
引用回帖:
Originally posted by mcvivi at 2011-05-02 21:11:35:
RT：各位熟知SEM的虫子交流下！
提示：主要从电子光学系统来区别讨论

我来抛砖引玉......

ZT:
传统扫描电子显微镜(SEM)配有接收二次电子的探头(ET)，它的工作原理：ET探头通过接收样品的二次电子，经光电倍增管放大后，信号再输到前置放大器放大。最后去调制显象管或其它成象系统；但它只能在高真空下工作，因此只光电倍增管能观察不含水分的固体导电样品相通过脱水、喷金属化等处理后的生物样品。对于含有适量水分的新鲜生物等样品，传统扫描电镜就无法满足要求。 普通扫描电镜的样品室和镜筒内均为高真空（约为10^-6个大气压），只能检验导电导热或经导电处理的干燥固体样品。低真空扫描电镜可直接检验非导电导热样品，无需进行处理，但是低真空状态下只能获得背散射电子像。

环境扫描电镜有二个探头(ET和GSED)，分别在高真空和低真空下工作。因此，它除了保持传统扫描电镜功能外。由于增加了GSED探头，就增加了新的功能。GSED可以工作在低真空(约达20Torr)下，它安装在物镜极靴底部，探头上施以数百伏的正电压以吸引由样品激发出的二次电子，二次电子在探头电场中被加速并碰撞气体分子使其电离，部分气体电离成正离子和电子(这些电子被称为气体二次电子)，这种加速一电离过程的不断重复，使初始二次电子信号呈连续比例级数放大，GSED探头接收这些信号并将其直接传到电子放大器放大成电信号去调制显象管或其它成像系统。
环境扫描电镜除具有以上电镜的所有功能外，还具有以下几个主要特点： 1.样品室内的气压可大于水在常温下的饱和蒸汽压 2.环境状态下可对二次电子成像 3.观察样品的溶解、凝固、结晶等相变动态过程（在-20℃～+20℃范围）。
环境扫描电镜可以对各种固体和液体样品进行形态观察和元素（C-U）定性定量分析，对部分溶液进行相变过程观察。对于生物样品、含水样品、含油样品，既不需要脱水，也不必进行导电处理，可在自然的状态下直接观察二次电子图像并分析元素成分。
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2楼2011-05-03 00:20:32
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