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suihuapeng

金虫 (小有名气)

[求助] 质量流量计的流量校正

做气体反应的同学都应该用过质量流量计吧?
本人做反应之前,首先对质量流量计设定的流量用皂膜流量计进行校正,这个流量计显示表有两个流量,一个是SV(设定值),一个是PV(实际值),我要的流量是12ml/min,但是设定值若定为12,实际值就达不到12,要想达到12,设定值必须设为15左右。
这是为什么呢?请达人指教。
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司水良言

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
dy322112(金币+5): 感谢热心帮助 2011-05-10 09:18:17
质量流量计的制作本身就有不同的标定标准,这个是自己向厂家订购之前就应该确定的,一般用的较多的是氮气为标准的,说明书后有附有的不同气体的转换系数。另外,说道显示数值的问题,应该以实际显示为准,设定值和显示值会有几个SCCM的差异,可以适当调高一点SV值。但是要注意的一点是需要的流量要在流量计的适宜量程范围内,最好在其比较精确的范围内(例如30%~100%),若是过小和过大肯定就不准确了,以及显示数值是你理想的数值。最后,还要注意使用流量计一定注意其前后压差在其使用范围,这个应该也在说明书中有提到。压差多小也是导致误差的原因之一。可能出现类似情况:压差较说明书上小,但是显示的数值与标定的一致,可能是仪器本身的质量问题,有些厂家所标明的压差较为保守。就说这些吧,质量流量计我用了近一年,希望对楼主有所帮助。
11楼2011-05-03 10:58:08
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baby521

铁杆木虫 (著名写手)

这就是流量计为啥要矫正的原因嘛。。
HETEROGENEOUSCATALYSIS
2楼2011-04-25 21:47:47
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suihuapeng

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by suihuapeng at 2011-04-25 16:39:29:
做气体反应的同学都应该用过质量流量计吧?
本人做反应之前,首先对质量流量计设定的流量用皂膜流量计进行校正,这个流量计显示表有两个流量,一个是SV(设定值),一个是PV(实际值),我要的流量是12ml/min,但 ...

不是这样的,一般的质量流量计只有一个设定值
3楼2011-04-25 22:11:55
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suihuapeng

金虫 (小有名气)

dy322112:编辑内容 2011-04-25 22:48
MFC两边没有压差,即不加气体时,是不是都为0呢,若不是先校0。若相差较大,咨询下技术工程师

[ Last edited by dy322112 on 2011-4-25 at 22:48 ]
4楼2011-04-25 22:13:22
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