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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】关于氧等离子体和退火处理对器件的影响
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zhangyao3755

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于氧等离子体和退火处理对器件的影响

大家好，我想咨询下：
氧等离子体和退火对ITO表面是怎么产生影响的？
氧等离子体处理金属氧化物（氧化钼，氧化钒等）时会有什么影响呢？
谢谢！
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1楼 2011-04-09 08:59:37
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zhaoli01

金虫 (小有名气)
您那里可以做氧等离子体处理？
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2楼2015-09-04 10:48:49
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