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curton

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【答案】应助回帖

hxdbm(金币+5, 博学EPI+1): 2011-04-08 15:31:05
 LED外延片工艺流程如下:
  衬底 - 结构设计 - 缓冲层生长 - N型GaN层生长 - 多量子阱发光层生 - P型GaN层生长 - 退火 - 检测(光荧光、X射线) - 外延片
  外延片- 设计、加工掩模版 - 光刻 - 离子刻蚀 - N型电极(镀膜、退火、刻蚀) - P型电极(镀膜、退火、刻蚀) - 划片 - 芯片分检、分级


上面有具体的介绍 呵呵
3楼2011-04-07 19:58:13
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