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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】带有SiO2的硅片，怎样解理，怎样清洗，最干净
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snwoody

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】带有SiO2的硅片，怎样解理，怎样清洗，最干净 已有2人参与

我们买了带有SiO2的硅片，原本很干净，发现用手工解理之后表面很脏，用很多方法清洗之后表面还是有斑点和灰膜之类的东西，请问大家有什么好办法？谢谢！
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1楼 2011-03-25 16:37:08
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buudylee

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
2楼2011-03-27 16:56:42
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西门懒得吹雪

铜虫 (小有名气)
氢氟酸洗下
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3楼2018-12-30 19:04:03
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