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【求助】有人自己喷涂过FTO吗?
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cottont
铜虫
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性别: GG
专业: 化学反应工程
[交流]
【求助】有人自己喷涂过FTO吗?
已有2人参与
我现在参考合肥工业大学一同学的硕士论文《喷雾热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究》中的方法用喷雾热解法制作FTO,方法应该是没有问题的(因为其他文献的方法也与之类似),但是喷涂了接近150次导电效果还是不好。
诸位,有人自己制作过FTO并且成功了的吗?有哪些需要注意的地方呢???
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1楼
2011-03-24 11:59:01
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回①如糖
木虫
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性别: GG
专业: 半导体材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问一般FTO中氟的含量有多少呢?
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3楼
2018-11-26 15:06:52
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zhaomingjie
新虫
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虫号: 2706759
注册: 2013-10-08
专业: 玻璃材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我做的FTO薄膜也是喷涂热解法,喷雾装置是自制的,现在能做到方块电阻在20Ω/sq,并不是喷的越厚越容易导电,首先基板温度是很重要的,我都定在500℃左右,再就是雾化颗粒要细,保证能够有效沉积。另外还有喷口到基板的距离。
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2楼
2014-04-30 15:38:25
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