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【请教】请教金属颗粒和金属粉末在CVD方法中的差别的问题
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【请教】请教金属颗粒和金属粉末在CVD方法中的差别的问题
我想用 CVD 方法做 ZnO 掺 In 掺 Ga 的超晶格纳米结构,用金属颗粒状的 In 和 Ga做了几次都没沉积,看相关文献用的都是粉末状做源,请问颗粒和粉末有什么差别么?必须要用粉末状的么?
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