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xibei1s985

铁虫 (正式写手)

[交流] 【交流】请教:电子束斑、加速电压、样品放电处理 已有1人参与

请教:电子束斑、加速电压、样品放电处理
电子束斑与加速电压的调节技巧,这个和样品的导电性之间有没有一定的联系;还有就是对于导电性非常差的样品放电现象非常严重,很难调到清晰的图片,高手多多指点
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guoning_1000688

银虫 (小有名气)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
ding2008212(金币+2): 谢谢参与 2011-03-18 12:23:41
你指的SEM吧,你说的导电性不好,是指材料未处理就导电性不好,还是材料不导电进行导电处理(喷金/碳)后导电性不好呢?

总的来讲,对于导电性不好的,用低电压,低真空,小束斑,长工作距离等可以减少电子能量的方法,当然分辨率也随之下降
2楼2011-03-18 10:28:56
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