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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问如何测定半导体材料中的杂质含量
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magictq

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】请问如何测定半导体材料中的杂质含量 已有3人参与

比如硅衬底中Mg或者其他杂质元素的含量，是本征半导体~
有没有人知道在哪能测呢
谢谢啦
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1楼 2011-02-28 09:53:44
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh: 鼓励交流 2011-02-28 22:14:04
SIMS,XPS,EDS,ICP等都可以测的
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2楼2011-02-28 11:56:39
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magictq

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by liu2004m at 2011-02-28 11:56:39:
SIMS,XPS,EDS,ICP等都可以测的

感谢楼上的回答
可以具体点说说嘛？
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3楼2011-02-28 12:05:39
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sunyixinq

金虫 (著名写手)
★
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-02-28 22:14:15
能谱分析，EDS就可以了~~~
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其实，我是路过的，什么都与我无关
4楼2011-02-28 17:52:01
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liu2004m

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by magictq at 2011-02-28 12:05:39:
感谢楼上的回答
可以具体点说说嘛？

如果是痕量，建议用SIMS或者ICP，EDX,XPS误差比较大
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5楼2011-03-01 11:32:55
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