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【摘要编号】11074063
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xdweld(金币+8, 基金HEPI+1): 非常感谢 2011-02-21 16:30:28
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项目编号： 11074063 项目名称： 钛酸锶钡铁电复合薄膜的生长机理、结构及性能研究 项目类型： 面上项目 申报学科： 介电、压电、热电和铁电性质(A040209)、介电、压电、热电和铁电性质(A040106) 研究性质： 应用基础研究 资助金额： 38 万元 依托单位： 河北大学 项目负责人： 刘保亭 开始日期： 2011-01-01 完成日期： 2013-12-31 项目摘要： 采用磁控和脉冲激光共溅射法制备0－3维、1－3维结构BST:MgO铁电复合薄膜，结合透射电子显微分析和X射线衍射等技术，详细研究沉积工艺（如：氧氩比、沉积温度、沉积功率）对BST:MgO复合薄膜的结构（颗粒形状、尺寸、密度等）的影响，探讨BST:MgO复合薄膜生长机理。研究复合薄膜的微结构对其相关性能（调制度、介电损耗、介电常数、漏电流）的控制作用。建立铁电复合薄膜生长工艺-微结构-物理性能的关系，全面揭示沉积工艺、基片对铁电复合薄膜的结构、界面、颗粒尺寸等影响的规律，为铁电复合薄膜物性的剪裁（通过组分选取、比例、微结构的调整）开辟新的途径。本项研究的完成有助于我们实现纳米复合薄膜结构设计和可控制备，揭示不同结构复合薄膜生长机理，建立和发展复合薄膜材料制备新技术，促进BST薄膜微波器件的发展。该课题关于磁控与脉冲激光共溅射方法可控制备铁电复合薄膜的研究国内外未见报导。 |
3楼2011-02-21 16:08:23
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xdweld2楼
2011-02-21 14:10
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