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zhongze

金虫 (正式写手)

[交流] AFM图中Ra RMS的意义？

仪器为SPA400

测试出来的图进行surface analysis时，会给出Ra，P-V，RMS，Rz，S，S Ratio，请问这些都是什么意思？
通过这些数据可以得出所测试样品的平均高度么？
谢谢！
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1楼2011-02-12 10:59:59
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qfw_68

版主 (文坛精英)
★ ★
Pd7577(金币+2): 积极回帖奖 2011-02-12 13:54:29
zhongze(金币+25, 博学EPI+1): 2011-02-13 10:28:03
平均面粗糙度(Ra)、最大高低差(P-V)、均方根粗糙度(RMS)、10点平均粗糙度(Rz)、表面积(S)、表面积率(S ratio)
赞一下(3人) 回复此楼
3楼2011-02-12 12:31:30
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shuaiandxin

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2011-02-12 12:31:30:
平均面粗糙度(Ra)、最大高低差(P-V)、均方根粗糙度(RMS)、10点平均粗糙度(Rz)、表面积(S)、表面积率(S ratio)

请教一下，rms高代表粗糙度小还是rms低代表粗糙度小啊，谢谢~
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4楼2011-04-25 14:47:51
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qfw_68

版主 (文坛精英)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
rms低代表粗糙度小。
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5楼2011-04-25 16:06:38
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