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heagle

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[交流] 【摘要编号】51002055/E020402

求助摘要的编号:

51002055/E020402

项目名称:

用于高频超声传感器的水热PZT厚膜制备及自脱落研究

项目类型:

青年

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1楼 2011-01-27 09:05:50

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book2005593

主管区长 (文坛精英)

heagle(金币+6, 基金HEPI+1): 谢谢 2011-01-27 09:42:58

项目编号 51002055
项目名称用于高频超声传感器的水热PZT厚膜制备及自脱落研究
项目类型青年科学基金项目
申报学科1 压电与铁电陶瓷材料(E020402)
申报学科2 压电与铁电陶瓷材料(E020404)
研究性质应用基础研究
资助金额 20.00万元
开始日期 2011年1月1日
完成日期 2013年12月31日
项目摘要随着人类对皮肤、眼睛、血管、小动物器官等超声成像研究的逐渐增多，要求超声成像系统使用更薄的不带衬底的压电厚膜，以提高其工作频率和减小其噪声。本项目拟用水热法在钛衬底上生长出PZT压电厚膜，研究不同厚度PZT厚膜的残余应力、附着力；通过快速升温降温处理，研究不同厚度PZT厚膜从钛衬底上自脱落的机理；优化自脱落的工艺参数，使得厚度１０微米、面积不小于1cm×1cm的PZT厚膜从钛衬底上无损自脱落。这项研究工作对实现工作频率达到１００MHz的PZT厚膜超声传感器及其阵列研制，对提高超声成像系统的工作频率，更细致的研究人类及动物的微细器官、组织等有实际应用价值。同时，这对利用热应力的作用使厚膜从衬底上无损自脱落的前沿科学问题研究具有重要的意义。
获资助单位华中科技大学(项目负责人)

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