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iriszhang

银虫 (初入文坛)


[交流] 【摘要编号】11074274/ A040503

求助摘要的编号:
11074274/ A040503
项目名称:
基于PZT薄膜的微压电超声换能器研究
项目类型:
面上项目

摘要求助:11074274/ A040503

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raimi

铁杆木虫 (著名写手)


iriszhang(金币+1, 基金HEPI+1): 多谢! 2011-01-27 21:54:07
iriszhang(金币+3): 谢谢! 2011-01-28 21:28:28
项目编号 11074274
项目名称 基于PZT薄膜的微压电超声换能器研究  
项目类型 面上项目   
申报学科1 超声学、量子声学和声学效应(A040503)  
申报学科2 超声学、量子声学和声学效应(A040507)  
研究性质 应用基础研究   
资助金额 40.00万元
开始日期 2011年1月1日  
完成日期 2013年12月31日   
项目摘要 微超声换能器(MUT)的研究是当今MEMS和超声学交叉的一个重要研究热点,由于它使用了微细加工技术,因此可小型化、性能稳定一致、可批量制造,特别是可集成化。它的发展将给医用超声成像技术,微型机器人以及其他军用和民用微声学探测带来革命性的变化。MUT有压电式(PMUT)和电容式(CMUT)两种。PMUT相对于CMUT具有不需要作偏置电压的DC-DC变换器、制备工艺简单、具有较高的发射效率等突出的优点。主要缺点是目前灵敏度比较低。本项目提出一种柔性支撑新型PMUT结构,寻求提高其灵敏度的途径。研究内容包括在微尺度下的声力电相互作用、PZT基复合板振动特性、等效电路模型、辐射声场等。在此基础上研究微换能器结构参数对换能器性能的影响,对超声换能器进行优化设计,解决PMUT关键制备技术,最终研制出PZT基PMUT的实验性器件。通过本项目研究,能对未来用于微超声成像的PMUT提供物理和技术基础。  
获资助单位 中国科学院声学研究所(项目负责人)
2楼2011-01-26 16:45:46
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