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【摘要编号】11074274/ A040503
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iriszhang(金币+3): 谢谢！ 2011-01-28 21:28:28
iriszhang(金币+3): 谢谢！ 2011-01-28 21:28:28
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项目编号 11074274 项目名称 基于PZT薄膜的微压电超声换能器研究 项目类型 面上项目 申报学科1 超声学、量子声学和声学效应(A040503) 申报学科2 超声学、量子声学和声学效应(A040507) 研究性质 应用基础研究 资助金额 40.00万元 开始日期 2011年1月1日 完成日期 2013年12月31日 项目摘要 微超声换能器（MUT）的研究是当今MEMS和超声学交叉的一个重要研究热点,由于它使用了微细加工技术，因此可小型化、性能稳定一致、可批量制造，特别是可集成化。它的发展将给医用超声成像技术，微型机器人以及其他军用和民用微声学探测带来革命性的变化。MUT有压电式（PMUT）和电容式（CMUT）两种。PMUT相对于CMUT具有不需要作偏置电压的DC-DC变换器、制备工艺简单、具有较高的发射效率等突出的优点。主要缺点是目前灵敏度比较低。本项目提出一种柔性支撑新型PMUT结构，寻求提高其灵敏度的途径。研究内容包括在微尺度下的声力电相互作用、PZT基复合板振动特性、等效电路模型、辐射声场等。在此基础上研究微换能器结构参数对换能器性能的影响，对超声换能器进行优化设计，解决PMUT关键制备技术，最终研制出PZT基PMUT的实验性器件。通过本项目研究，能对未来用于微超声成像的PMUT提供物理和技术基础。 获资助单位 中国科学院声学研究所(项目负责人) |
2楼2011-01-26 16:45:46