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【摘要编号】51075375
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基于非接触测量的超高温MEMS压力传感器基础研究 |
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book2005593
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microsensor(金币+4, 基金HEPI+1): thanks 2011-01-22 22:05:51
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项目编号 51075375 项目名称 基于非接触测量的超高温MEMS压力传感器基础研究 项目类型 面上项目 申报学科1 微/纳机械传感与控制(E051202) 研究性质 应用基础研究 资助金额 41.00万元 开始日期 2011年1月1日 完成日期 2013年12月31日 项目摘要 国家重大工程项目核电、大飞机、深空探测、载人航天遇到了超高温压力测试的难题。在高温环境下的弹性结构失稳以及电引线性能退化是导致传统MEMS压力传感器无法正常工作的关键原因。本课题提出一种基于非接触无源信号传输的超高温压力传感器，采用高温半导体SiC材料来制备压敏结构，保证在高温环境下的结构稳定性，同时采用非接触式的无源探测技术，避免电引线高温退化的问题，从而可实现超过600℃的高温压力测量。通过对高温条件下SiC材料的弹性参数变化机制的理论和实验分析，设计出抗高温的压敏结构，并进行高温环境下的压力测量实验验证。完成基于非接触无源信号传输方式的高温压力传感器的理论、设计、工艺、测试技术的研究成果体系，为实现600℃以上实际可用的微小体积高温压力传感器打下坚实的理论和技术基础。 获资助单位 中北大学(项目负责人) |
2楼2011-01-22 19:37:01