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【摘要编号】51075376
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microsensor(金币+4, 基金HEPI+1): 谢谢 2011-01-22 19:21:12
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项目详情 项目编号 51075376 项目名称 基于纳米硅薄膜超低温压力传感器研究 项目类型 面上项目 申报学科1 微/纳机械传感与控制(E051202) 研究性质 应用基础研究 资助金额 40.00万元 开始日期 2011年1月1日 完成日期 2013年12月31日 项目摘要 项目在研究纳米硅薄膜超低温下电子输运特性的基础上，建立纳米硅材料力学敏感模型，揭示纳米硅薄膜在超低温下力电耦合特性和压阻系数的工作条件。以其为敏感元件，设计制造了集成PN结温度传感的超低温压力传感器及其封装技术。对压力传感器在超低温环境下动态、静态测试方法进行了研究，测试、分析了压力传感器的基本性能，同时研究了低温环境下的温度补偿方法。项目预期加工出超低温（20K-100K）MEMS压力传感器，填补国内外在该技术领域的空白。该传感器可广泛应用于液氢、液氧发动机、氢能源、低温工程、超导技术等多个领域。通过探索纳米硅薄膜敏感特性，有望使其广泛应用于超低温条件下各种力学参量的测试。 获资助单位 中北大学(项目负责人) |
2楼2011-01-22 15:47:33
