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【摘要编号】51072195/E020701
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AlGaN基声表面波型日盲紫外探测器研究 |
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book2005593
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icwafer(金币+4, 基金HEPI+1): 谢谢谢谢 2011-01-16 16:25:14
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项目编号 51072195 项目名称 AlGaN基声表面波型日盲紫外探测器研究 项目类型 面上项目 申报学科1 微电子与光电子材料(E020701) 研究性质 应用基础研究 资助金额 38.00万元 开始日期 2011年1月1日 完成日期 2013年12月31日 项目摘要 AlGaN基日盲紫外探测器在国防，通讯，医疗和生物等领域有着巨大的应用前景。但通常的AlGaN基日盲探测器结构存在可测信号弱，噪声大的缺点，很难实现对弱信号的探测。本课题拟采用AlGaN基探测器与声表面波（SAW）器件集成的结构，将AlGaN基探测器对深紫外光的光电响应信号转变为声学信号，利用SAW器件对声电相互作用的高灵敏响应机制来实现对微弱紫外光信号的探测目的。探索AlGaN基SAW型日盲紫外探测器中光、电、声相互耦合作用的物理机制，获得AlGaN基SAW型日盲探测器结构的最佳设计。采用高温金属有机物气相沉积法在AlN/sapphire模板上外延AlGaN基SAW型探测器结构，探索高温外延AlGaN的生长动力学和缺陷控制方法， 研究AlGaN材料的声表波特性以及材料缺陷、探测器与SAW间的界面、探测器结构等对器件性能影响，最终实现高灵敏度AlGaN基日盲探测器的研制。 获资助单位 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(项目负责人) |
2楼2011-01-16 16:13:31