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【摘要编号】61006052/F040308
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SiC紫外探测器等效电路模型与集成化技术研究 |
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book2005593
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icwafer(金币+4, 基金HEPI+1): 谢谢 2011-01-16 15:45:40
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项目编号 61006052 项目名称 SiC紫外探测器等效电路模型与集成化技术研究 项目类型 青年科学基金项目 申报学科1 新型半导体光电子器件(F040308) 申报学科2 新型半导体光电子器件(F040303) 研究性质 应用基础研究 资助金额 22.00万元 开始日期 2011年1月1日 完成日期 2013年12月31日 项目摘要 本项目旨在对SiC紫外探测器的等效电路模型与单片光电集成问题进行探索研究。本项目基于PSPICE软件开发适用于SiC紫外探测器的等效电路模型并通过PSPICE仿真实现对模型参数的优化；借鉴InP基、GaAs基等材料研制光电集成电路（OEIC）的方法，给出在SiC衬底上将金属-半导体-金属光电探测器（MSM-PD）与SiC MESFET单片集成实现短波长光接收机前端的设计方法；设计出SiC MSM-MESFET OEIC，并对其进行PSPICE电路级仿真和优化。对制备SiC OEIC的关键工艺技术进行实验摸索，通过材料生长、工艺流程设计、版图设计以及流片等步骤，从实验上对SiC MSM-MESFET单片集成短波长光接收机前端的实现进行探索。本项目将为开展宽禁带半导体器件以及OEIC的研究和改进奠定必要的理论基础，对进一步研究和制备SiC单片光电集成器件具有重要指导作用。 获资助单位 西安电子科技大学(项目负责人) |
2楼2011-01-16 15:37:29