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【摘要编号】61076007/F040103
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icwafer(金币+4, 基金HEPI+1):谢谢 2011-01-15 13:06:33
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项目编号 61076007 项目名称 日盲紫外探测材料铍锌氧薄膜的外延生长与器件研制 项目类型 面上项目 申报学科1 薄膜半导体材料(F040103) 申报学科2 薄膜半导体材料(F040303) 研究性质 应用基础研究 资助金额 39.00万元 开始日期 2011年1月1日 完成日期 2013年12月31日 项目摘要 本项目拟采用射频等离子体辅助分子束外延法，开展新型ZnO基合金薄膜-BeZnO合金薄膜的制备与研究，在蓝宝石、硅等衬底上制备出带隙在220～280nm日盲区间任意可调的单一纤锌矿相BeZnO单晶薄膜，并获得日盲材料的可重复制备工艺；结合多种先进的测试手段，系统研究BeZnO薄膜中Be组分与带隙的对应关系；进一步利用微纳加工技术，制作出MSM、PIN等不同器件结构的日盲中紫外探测器，研究不同器件结构对探测性能的影响，通过优化器件制作工艺，最终获得光响应截止波长在220～280nm日盲区间可调谐的高性能日盲紫外探测原型器件。由于带隙可调谐的中紫外日盲探测材料的制备与器件制作是目前ZnO基材料实现其日盲探测应用过程中难以解决的瓶颈问题，也是目前实现其军事应用必须解决的首要难题，因此本课题的开展具有重要的科学价值和应用前景。 获资助单位 中国科学院物理研究所(项目负责人) |
2楼2011-01-15 13:00:28
