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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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icwafer

金虫 (正式写手)


[交流] 【摘要编号】61076007/F040103

求助摘要的编号:
61076007/F040103
项目名称:
 日盲紫外探测材料铍锌氧薄膜的外延生长与器件研制
项目类型:
nsfc

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raimi

铁杆木虫 (著名写手)


icwafer(金币+4, 基金HEPI+1):谢谢 2011-01-15 13:06:33
项目编号 61076007
项目名称 日盲紫外探测材料铍锌氧薄膜的外延生长与器件研制  
项目类型 面上项目   
申报学科1 薄膜半导体材料(F040103)  
申报学科2 薄膜半导体材料(F040303)  
研究性质 应用基础研究   
资助金额 39.00万元
开始日期 2011年1月1日  
完成日期 2013年12月31日   
项目摘要 本项目拟采用射频等离子体辅助分子束外延法,开展新型ZnO基合金薄膜-BeZnO合金薄膜的制备与研究,在蓝宝石、硅等衬底上制备出带隙在220~280nm日盲区间任意可调的单一纤锌矿相BeZnO单晶薄膜,并获得日盲材料的可重复制备工艺;结合多种先进的测试手段,系统研究BeZnO薄膜中Be组分与带隙的对应关系;进一步利用微纳加工技术,制作出MSM、PIN等不同器件结构的日盲中紫外探测器,研究不同器件结构对探测性能的影响,通过优化器件制作工艺,最终获得光响应截止波长在220~280nm日盲区间可调谐的高性能日盲紫外探测原型器件。由于带隙可调谐的中紫外日盲探测材料的制备与器件制作是目前ZnO基材料实现其日盲探测应用过程中难以解决的瓶颈问题,也是目前实现其军事应用必须解决的首要难题,因此本课题的开展具有重要的科学价值和应用前景。  
获资助单位 中国科学院物理研究所(项目负责人)
2楼2011-01-15 13:00:28
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