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gary8812

铁杆木虫 (著名写手)


[交流] 【求助】请问选择什么晶向的晶体硅外延异质结

晶体硅衬底外延另一种半导体薄膜形成异质结,请问选择什么晶向的晶体硅形成的异质结的界面态更小?为什么?
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feijiutian

木虫 (小有名气)


gary8812(金币+5):(100)与(111)哪种更好呢?不用考虑键密度,悬挂键之类的吗? 2011-01-04 17:50:24
这要看晶格匹配程度了,一般用的都是(100)和(111)面的Si,市场上买的就有。
2楼2011-01-04 12:19:17
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wanglinn

新虫 (小有名气)


gary8812(金币+5):晶格常数只是一个因素之一吧,假如两种晶格常数相同的不同半导体,每个晶格常数内键密度差别很大啊,是不是也要考虑? 2011-01-04 18:01:05
根据你要外延的半导体薄膜的晶格常数来决定。(100)和(111)面的Si 都有自己固定的晶格常数,越接近,成功率越高,越容易外延。太远的几乎就没办法做成
3楼2011-01-04 17:57:29
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