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gary8812

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】请问选择什么晶向的晶体硅外延异质结

晶体硅衬底外延另一种半导体薄膜形成异质结，请问选择什么晶向的晶体硅形成的异质结的界面态更小?为什么？
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1楼 2011-01-01 15:35:45
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feijiutian

木虫 (小有名气)
gary8812(金币+5):（100）与（111）哪种更好呢？不用考虑键密度，悬挂键之类的吗？ 2011-01-04 17:50:24
这要看晶格匹配程度了，一般用的都是(100)和(111)面的Si，市场上买的就有。
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2楼2011-01-04 12:19:17
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wanglinn

新虫 (小有名气)
gary8812(金币+5):晶格常数只是一个因素之一吧，假如两种晶格常数相同的不同半导体，每个晶格常数内键密度差别很大啊，是不是也要考虑? 2011-01-04 18:01:05
根据你要外延的半导体薄膜的晶格常数来决定。(100)和(111)面的Si 都有自己固定的晶格常数，越接近，成功率越高，越容易外延。太远的几乎就没办法做成
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3楼2011-01-04 17:57:29
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