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[交流] 【请教】单位问题

最近看文献，其中有两篇都提到一个厚度单位Lm，百度，Google都没找到比较满意的解释，请问下这个是什么单位？和厘米或毫米之间的关系是什么？还是其他的特定的说法？

文献具体描述：在硅的两面用LPCVD方法沉积厚度为0.5Lm的氮化硅薄膜，其中硅片厚度为300Lm

请指教，谢谢！

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学习……

1楼 2010-12-27 17:06:02

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