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weili201金虫 (小有名气)
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【请教】单位问题
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最近看文献,其中有两篇都提到一个厚度单位Lm,百度,Google都没找到比较满意的解释,请问下这个是什么单位?和厘米或毫米之间的关系是什么?还是其他的特定的说法? 文献具体描述:在硅的两面用LPCVD方法沉积厚度为0.5Lm的氮化硅薄膜,其中硅片厚度为300Lm 请指教,谢谢! |
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