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candywq

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[交流] 俄歇显微镜观察材料新世界

日本电子光学实验室已为美国能源部的艾姆斯

实验室制造了一台俄歇电子谱学显微镜。俄歇显微

镜是一种分析器, 能让科学家了解表面层的组成和

元素在材料中的分布。对于评估材料性质、故障、腐

蚀和清洁的研究人员, 这种能力非常重要。

俄歇显微镜将一电子束聚焦在材料样品的表

面, 产生特别的电子(俄歇电子) , 对于每种元素或原

子上层的化合物这种俄歇电子的能量是唯一的。仪

器分析电子数目, 以及它们的动能, 产生数据和图像

以帮助科学家了解表面性质。由于离子枪能逐步剥

离样品表面的材料, 俄歇显微镜也能获得表面以下

的材料组成信息。

俄歇电子谱学并非一门新学科, 此种显微镜比

传统俄歇系统有不少好处, 它使研究人员能洞察用

于半导体、汽车、催化剂、光学和薄膜中重要的材料

性质。该系统的最大优点是探针非常小, 让研究人员

能分辨比较旧的俄歇器件大致小10 倍的区域。该系

统也具有半球分析器(HA S) 的特色, 能提供先进的

化学状态分析。此种信息能用来产生样品的元素及

其化学状态分布图。

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1楼 2006-06-28 22:42:52

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augustgsp

0.5

2楼2006-07-06 03:57:18

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westwolf

木虫 (著名写手)

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0.25

感谢楼主得分享精神。不过楼主好像不太懂这种技术。这种技术一般称为“俄歇电子谱（学）(Auger electron spectroscopy)”或者“扫描俄歇微探针（Scanning Auger microprobe, SAM）”，“而不是楼主所说得”俄歇电子谱学显微镜“.它得主要优点是微区表面成分得分析能力。它与扫面电子显微镜结合而获得１０纳米以内深度，直径可达１０纳米（去年在国际真空会议上得到得信息，可能不是很准确！）得单点区域得化学成分和部分化学态。仪器得工作原理可参见我得小木虫博客。
楼主没有讲清除新仪器得进展，“让研究人员能分辨比较旧的俄歇器件大致小10 倍的区域”是不是讲新仪器得空间分辩率提高了十倍。