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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去？
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xiayudong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by chenzq1969 at 2010-12-26 17:17:12:
再说你的那个分子泵也太次了，或者系统漏气

如果系统漏气，为什么能抽到10的负五次方？
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11楼2010-12-28 21:49:00
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xiayudong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by bible2 at 2010-12-16 22:46:12:
我一般的操作是，先用机械泵抽一会儿，到10Pa下，开始加热，10min后，停止加热，一般这个时候的压力是比较大的，100pa左右吧，继续用机械泵抽到10pa，然后开分子泵。这样真空是比较好的。

靶材会氧化很严重的。
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12楼2010-12-28 21:50:00
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bible2

版主 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by xiayudong at 2010-12-28 21:50:00:


靶材会氧化很严重的。

可能是成分不一样吧.我们这里一般是Pt\Cu\Cr\Ru,还是比较稳定的.而且加热的温度也不是很高,也就是几百度的样子,应该不会氧化.
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13楼2010-12-28 22:30:11
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chenzq1969

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
P=nkT, 如果气体量一定，温度越高，压强越大。

一般分子泵抽到10-7 torr是最低要求
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14楼2010-12-29 00:23:08
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donkeypku

至尊木虫 (著名写手)

两院院士
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by xiayudong at 2010-12-12 18:38:58:
我使用一台磁控溅射，真空设备为机械泵和分子泵。
我的实验需要真空4×10（-4次方），加热温度为700度。
我在不加热的情况下，真空可以抽至1×10（-4次方）《==说明腔体不漏气。
但是加热之后，真空却只能抽刀 ...

我觉得你的仪器密封不够好或者材质高温下会放气，我们的设备加热下可以抽到-10 Torr
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博观约取，厚积薄发
15楼2011-01-01 02:56:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
建议你在室温下抽到－4次方之后，关闭抽真空系统，看腔室 本身的升压情况。
引用回帖:
Originally posted by xiayudong at 2010-12-12 18:38:58:
我使用一台磁控溅射，真空设备为机械泵和分子泵。
我的实验需要真空4×10（-4次方），加热温度为700度。
我在不加热的情况下，真空可以抽至1×10（-4次方）《==说明腔体不漏气。
但是加热之后，真空却只能抽刀 ...

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16楼2011-01-01 13:02:40
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xiayudong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by cord at 2011-01-01 13:02:40:
建议你在室温下抽到－4次方之后，关闭抽真空系统，看腔室 本身的升压情况。



不知道为什么，这几天突然好了。。。很容易就抽到-4次方了
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17楼2011-01-01 19:59:50
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Marco`

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
15楼: Originally posted by donkeypku at 2011-01-01 02:56:05
我觉得你的仪器密封不够好或者材质高温下会放气，我们的设备加热下可以抽到-10 Torr...

求教，我目前打算组装一个真空度至少达到10E-7torr的真空加热管，最高温度达800C，求教应该如何组装，可以画出示意图么~~谢谢
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不挥霍时间，才能不浪费机会。
18楼2013-07-02 10:07:13
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shaolong0126

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
温度越高 压强越高

你可以这样想 温度越高 分子运动越剧烈

分子速度越大  逃逸速度越大 不规则运动越剧烈

你先理解理解抽真空的原理吧
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19楼2013-07-02 12:23:18
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bluegenes

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
材料都有放气现象的嘛
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www.qiushan-tech.com
20楼2014-06-07 03:09:51
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