【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去？ - 物理 - 其他交流

11楼2010-12-28 21:49:00

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

xiayudong

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 759.6
散金: 200
帖子: 107
在线: 131.5小时
虫号: 1035638
注册: 2010-06-04
性别: GG
专业: 无机非金属类高温超导与磁

引用回帖:

Originally posted by bible2 at 2010-12-16 22:46:12:
我一般的操作是，先用机械泵抽一会儿，到10Pa下，开始加热，10min后，停止加热，一般这个时候的压力是比较大的，100pa左右吧，继续用机械泵抽到10pa，然后开分子泵。这样真空是比较好的。

靶材会氧化很严重的。

12楼2010-12-28 21:50:00

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

bible2

版主 (职业作家)

应助: 545 (博士)
贵宾: 0.093
金币: 32075.7
散金: 1030
红花: 175
沙发: 1
帖子: 4801
在线: 2833.9小时
虫号: 265520
注册: 2006-07-15
专业: 无机非金属类光电信息与功
管辖: 无机非金属

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

引用回帖:

Originally posted by xiayudong at 2010-12-28 21:50:00:

靶材会氧化很严重的。

可能是成分不一样吧.我们这里一般是Pt\Cu\Cr\Ru,还是比较稳定的.而且加热的温度也不是很高,也就是几百度的样子,应该不会氧化.

13楼2010-12-28 22:30:11

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

chenzq1969

木虫 (正式写手)

应助: 12 (小学生)
金币: 5946.2
散金: 87
红花: 5
沙发: 2
帖子: 466
在线: 595.9小时
虫号: 1158430
注册: 2010-11-29
专业: 核技术及其应用

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

P=nkT, 如果气体量一定，温度越高，压强越大。

一般分子泵抽到10-7 torr是最低要求

14楼2010-12-29 00:23:08

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

donkeypku

至尊木虫 (著名写手)

两院院士

物理EPI: 5
应助: 4 (幼儿园)
贵宾: 0.46
金币: 12021
散金: 20
红花: 53
帖子: 2864
在线: 784.2小时
虫号: 595501
注册: 2008-09-08
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

引用回帖:

Originally posted by xiayudong at 2010-12-12 18:38:58:
我使用一台磁控溅射，真空设备为机械泵和分子泵。
我的实验需要真空4×10（-4次方），加热温度为700度。
我在不加热的情况下，真空可以抽至1×10（-4次方）《==说明腔体不漏气。
但是加热之后，真空却只能抽刀 ...

我觉得你的仪器密封不够好或者材质高温下会放气，我们的设备加热下可以抽到-10 Torr

博观约取，厚积薄发

15楼2011-01-01 02:56:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)

物理EPI: 1
应助: 186 (高中生)
金币: 8374.9
散金: 206
红花: 16
帖子: 1745
在线: 206.7小时
虫号: 514399
注册: 2008-02-29
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

建议你在室温下抽到－4次方之后，关闭抽真空系统，看腔室本身的升压情况。

引用回帖:

16楼2011-01-01 13:02:40

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

xiayudong

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 759.6
散金: 200
帖子: 107
在线: 131.5小时
虫号: 1035638
注册: 2010-06-04
性别: GG
专业: 无机非金属类高温超导与磁

引用回帖:

Originally posted by cord at 2011-01-01 13:02:40:
建议你在室温下抽到－4次方之后，关闭抽真空系统，看腔室本身的升压情况。

不知道为什么，这几天突然好了。。。很容易就抽到-4次方了

17楼2011-01-01 19:59:50

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

Marco`

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 6.6
帖子: 28
在线: 49.1小时
虫号: 2197674
注册: 2012-12-20
性别: GG
专业: 材料物理化学

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

15楼: Originally posted by donkeypku at 2011-01-01 02:56:05
我觉得你的仪器密封不够好或者材质高温下会放气，我们的设备加热下可以抽到-10 Torr...

求教，我目前打算组装一个真空度至少达到10E-7torr的真空加热管，最高温度达800C，求教应该如何组装，可以画出示意图么~~谢谢

不挥霍时间，才能不浪费机会。

18楼2013-07-02 10:07:13

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

shaolong0126

铜虫 (小有名气)

应助: 12 (小学生)
金币: 402
红花: 1
帖子: 73
在线: 40.4小时
虫号: 2529103
注册: 2013-07-02
性别: GG
专业: 环境工程

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

温度越高压强越高

你可以这样想温度越高分子运动越剧烈

分子速度越大逃逸速度越大不规则运动越剧烈

你先理解理解抽真空的原理吧

19楼2013-07-02 12:23:18

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

bluegenes

银虫 (小有名气)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 188
散金: 2
红花: 5
帖子: 155
在线: 149.7小时
虫号: 1293290
注册: 2011-05-12
性别: GG
专业: 金属材料

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

材料都有放气现象的嘛