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xiayudong

金虫 (小有名气)

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Originally posted by chenzq1969 at 2010-12-26 17:17:12:
再说你的那个分子泵也太次了,或者系统漏气

如果系统漏气,为什么能抽到10的负五次方?
11楼2010-12-28 21:49:00
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xiayudong

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by bible2 at 2010-12-16 22:46:12:
我一般的操作是,先用机械泵抽一会儿,到10Pa下,开始加热,10min后,停止加热,一般这个时候的压力是比较大的,100pa左右吧,继续用机械泵抽到10pa,然后开分子泵。这样真空是比较好的。

靶材会氧化很严重的。
12楼2010-12-28 21:50:00
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bible2

版主 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
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Originally posted by xiayudong at 2010-12-28 21:50:00:


靶材会氧化很严重的。

可能是成分不一样吧.我们这里一般是Pt\Cu\Cr\Ru,还是比较稳定的.而且加热的温度也不是很高,也就是几百度的样子,应该不会氧化.
13楼2010-12-28 22:30:11
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chenzq1969

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
P=nkT, 如果气体量一定,温度越高,压强越大。

一般分子泵抽到10-7 torr是最低要求
14楼2010-12-29 00:23:08
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donkeypku

至尊木虫 (著名写手)

两院院士


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by xiayudong at 2010-12-12 18:38:58:
我使用一台磁控溅射,真空设备为机械泵和分子泵。
我的实验需要真空4×10(-4次方),加热温度为700度。
我在不加热的情况下,真空可以抽至1×10(-4次方)《==说明腔体不漏气。
但是加热之后,真空却只能抽刀 ...

我觉得你的仪器密封不够好或者材质高温下会放气,我们的设备加热下可以抽到-10 Torr
博观约取,厚积薄发
15楼2011-01-01 02:56:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
建议你在室温下抽到-4次方之后,关闭抽真空系统,看腔室 本身的升压情况。
引用回帖:
Originally posted by xiayudong at 2010-12-12 18:38:58:
我使用一台磁控溅射,真空设备为机械泵和分子泵。
我的实验需要真空4×10(-4次方),加热温度为700度。
我在不加热的情况下,真空可以抽至1×10(-4次方)《==说明腔体不漏气。
但是加热之后,真空却只能抽刀 ...

16楼2011-01-01 13:02:40
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xiayudong

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by cord at 2011-01-01 13:02:40:
建议你在室温下抽到-4次方之后,关闭抽真空系统,看腔室 本身的升压情况。



不知道为什么,这几天突然好了。。。很容易就抽到-4次方了
17楼2011-01-01 19:59:50
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Marco`

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
15楼: Originally posted by donkeypku at 2011-01-01 02:56:05
我觉得你的仪器密封不够好或者材质高温下会放气,我们的设备加热下可以抽到-10 Torr...

求教,我目前打算组装一个真空度至少达到10E-7torr的真空加热管,最高温度达800C,求教应该如何组装,可以画出示意图么~~谢谢
不挥霍时间,才能不浪费机会。
18楼2013-07-02 10:07:13
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shaolong0126

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
温度越高 压强越高

你可以这样想 温度越高 分子运动越剧烈

分子速度越大  逃逸速度越大 不规则运动越剧烈

你先理解理解抽真空的原理吧
19楼2013-07-02 12:23:18
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bluegenes

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
材料都有放气现象的嘛
www.qiushan-tech.com
20楼2014-06-07 03:09:51
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