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xiayudong

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去? 已有14人参与

我使用一台磁控溅射,真空设备为机械泵和分子泵。
我的实验需要真空4×10(-4次方),加热温度为700度。
我在不加热的情况下,真空可以抽至1×10(-4次方)《==说明腔体不漏气。
但是加热之后,真空却只能抽刀3×10(-3次方)。
请各位兄弟姐妹帮助,谢谢!
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donkeypku

至尊木虫 (著名写手)

两院院士


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by xiayudong at 2010-12-12 18:38:58:
我使用一台磁控溅射,真空设备为机械泵和分子泵。
我的实验需要真空4×10(-4次方),加热温度为700度。
我在不加热的情况下,真空可以抽至1×10(-4次方)《==说明腔体不漏气。
但是加热之后,真空却只能抽刀 ...

我觉得你的仪器密封不够好或者材质高温下会放气,我们的设备加热下可以抽到-10 Torr
博观约取,厚积薄发
15楼2011-01-01 02:56:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-12-13 05:53:04
抽了多长时间没抽下去?
腔室内材料在700度温度下放气可能比较严重。
2楼2010-12-13 00:25:41
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chenyg07

金虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
估计和其他的抽真空仪器类似,附着气体或者其他杂质在高温低真空时会破坏真空系统
很高兴认识你
3楼2010-12-14 16:58:39
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bible2

版主 (职业作家)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-12-27 04:50:57
我一般的操作是,先用机械泵抽一会儿,到10Pa下,开始加热,10min后,停止加热,一般这个时候的压力是比较大的,100pa左右吧,继续用机械泵抽到10pa,然后开分子泵。这样真空是比较好的。
4楼2010-12-16 22:46:12
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