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xiayudong金虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去? 已有14人参与
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我使用一台磁控溅射,真空设备为机械泵和分子泵。 我的实验需要真空4×10(-4次方),加热温度为700度。 我在不加热的情况下,真空可以抽至1×10(-4次方)《==说明腔体不漏气。 但是加热之后,真空却只能抽刀3×10(-3次方)。 请各位兄弟姐妹帮助,谢谢! |
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feynman1965
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22楼2014-06-09 14:35:04
cord
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3楼2010-12-14 16:58:39
bible2
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